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亚博代理 安捷倫(Agilent)產品庫 高真空泵 TwisTorr 84 FS 渦輪分子泵
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TwisTorr 84 FS 渦輪分子泵

Agilent TwisTorr 84 FS 高真空渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動級技術和安捷倫懸浮軸承,具有高性能、高可靠性及經濟性。TwisTorr 拖動級技術能提高小分子氣體(如氫氣和氦氣)壓縮比,從而實現大抽氣量和城耐受高前級壓力,進而能使用更經濟實惠、更小型的前級泵。該技術使得轉子能采用緊湊的設計,變得高效節能,并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統降低了噪音和振動,并能保證最佳的軸承工作條件,從而能延長工作壽命,最大程度減少系統停機時間,并能確保長時間穩定性。TwisTorr 84 FS 泵獨有的軸承和干式潤滑劑設計,使得泵無需泵油和維護,能夠以任意方向安裝。可選擇一體式控制器或機架控制器。

  • 創新的 TwisTorr 技術 — 能提高小分子氣體壓縮比,而非常小巧的轉子設計則實現了高性能和最小的系統體積。

  • 耐受高前級壓力 — 允許使用更小的前級泵,從而降低了系統成本和尺寸。

  • 安捷倫懸浮軸承系統 — 低振動,低噪音,最佳的軸承工作條件,延長泵的使用壽命,實現使用維護成本優化,最大程度減少系統停機時間,并保證長時間穩定的抽氣性能。

  • 獨有的軸承和干式潤滑劑 — 免維護、免油,實現任意角度安裝。

  • 銅制水冷通道(可選) — 可避免腐蝕,優化熱傳遞性能,降低用水量和使用維護成本。

  • 渦輪分子泵應用范例

抽速:
CFF 4.5 英寸或 ISO 63 配置:CFF 2.75 英寸 配置:KF 40 配置:


N 2 :67 L/s

N 2 :56 L/s

N 2 :49 L/s


He:63 L/s/

He:46 L/s

He:38 L/s/


H 2 :53 L/s

H 2 :40 L/s

H 2 :36 L/s


Ar:66 L/s

Ar:57 L/s

Ar:44 L/s

全轉速氣體流量(使用推薦的前級泵)
風冷 (35 °C)
水冷 (25 °C, 65 L/h)
N 2 :100 sccm
N 2 :100 sccm
Ar:70 sccm
Ar:70 sccm


壓縮比: N 2 :≥ 1 × 10 11 He:2 × 10 6 H 2 :5 × 10 4 Ar:> 1 × 10 11
極限真空*(使用推薦的前級泵) < 5 x 10 -10 mbar (< 3.75 x 10 -10 Torr)


入口法蘭 CF 4.5 英寸(外徑)
CF 2.75 英寸(外徑)
ISO 63
KF40


前級管道法蘭 KF 16 NW


轉速 81000 rpm(驅動頻率 1350 Hz)


啟動時間 < 2 分鐘


推薦的前級泵 機械:DS 40M-DS 102
干式泵:Agilent IDP-3,SH 110



工作位置 任意位置


操作環境溫度 +5 °C 至 +35 °C


空氣相對濕度 0 至 90%(非凝縮)


烘烤溫度

入口法蘭最高溫度 120 °C(CFF 法蘭)

入口法蘭最高溫度 80 ℃(ISO 法蘭)




潤滑油

永久性潤滑




冷卻要求 風冷:
水冷:
氣流溫度 +5 °C 至 +35 °C
冷卻水溫度:+15 °C 至 +25 °C

最低流速:65 L/h (0.30 GPM)

壓力:2 至 4 bar(45 至 75 psi)


噪音壓力級別(全速運行時距離 1 m 處) 40 dB(A) *


儲存溫度 -40 °C 至 +70 °C


最高海拔 3000 m


認證 CE、C-CSA-US、RoHS 符合 2011/65/UE 要求


重量 kg(磅):

泵 ISO 63:
2.5 (5.5)

泵 CFF 4.5 英寸:
3.5 (7.7)

泵 CFF 2.75 英寸:
3.34 (7.35)

泵 KF 40:
2.37 (5.22)

* 平均值 ± 4 dB(A) 標準差



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