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亚博代理官网 安捷倫(Agilent)產品庫 FRG-700/702 皮拉尼反磁控真空規
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FRG-700/702 皮拉尼反磁控真空規

安捷倫 FRG-700 規為全量程規,在緊湊且經濟的規管內集成兩種測量技術,以測量從 5 x 10 -9 mbar 至大氣壓(3.8 x 10 -9 Torr 至大氣壓)的工作壓力和極限壓力。帶有一個對數模擬輸出信號的單一緊湊規管可大幅降低安裝、設置和集成的復雜性。其優點在于降低成本并顯著降低對寶貴空間的要求。FRG-702 為 FRG-700 的全金屬型號,內含金屬密封的真空密封穿導件。該規管可以在比 FRG-700(法蘭處最高 55℃)更高的溫度(法蘭處最高 150℃)下工作。

主動式真空計選型表

  • 兩種測量技術集于一臺緊湊、一體化、經濟的封裝中

  • 測量過程和極限壓力從 5 x 10-9 mbar 至大氣壓(3.8 x 10-9 Torr 至大氣壓)

  • 一體化、緊湊的規管帶有對數模擬輸出,可大幅降低安裝、設置和集成的復雜性

  • 適合監控高真空壓力、蒸鍍和濺鍍系統的極限壓力,以及中高真空范圍內的普通真空測量和控制

  • 寬測量范圍,從 5 × 10-9 mbar 至大氣壓

  • 燈絲不易毀壞

  • 優異的啟動性能

  • 易于清潔

技術指標

FRG-700/702 全量程復合規
測量范圍 5 x 10-9 到 1000 mbar(3.8 x 10-9 到 760 Torr)
準確度 ± 30 % 讀數,典型值
重復性 ± 5% 讀數,典型值
安裝方向 任意
允許溫度(周圍環境) 操作存儲 烘烤溫度* (皮拉尼) 燈絲溫度
5 到 55 °C –40 到 + 65 °C 150°C 120 °C
電源電壓 在規管處 脈動 能耗
15 到 30 VDC ≤ 1 Vpp ≤ 2 W
輸出信號(測量信號) 電壓范圍 測量范圍
0 到 10.5 V 1.82 到 8.6 V
電壓與壓力關系 0.6 V/十進制, 對數的
錯誤信號 < 0.5 V(無輸入),> 9.5 V(皮拉尼傳感器,燈絲斷裂)
最小負載阻抗 10 kΩ,短路保護
響應時間 < 10 ms(當壓力大于 10-6 mbar 時),≈ 1000 ms(當壓力等于 10-8 mbar 時)
識別規管 85 kΩ,參照常見供應
狀態 僅皮拉尼規模式 復合皮拉尼/冷陰極模式 LED
0 V(低) 15 V到 30(高) 綠色 LED 亮即表示高電壓開
電氣連接 FCC 68 應用連接器,8芯,內孔式配件
傳感器電纜 8 芯加屏蔽
最大電纜長度 ≤ 50 m
工作電壓/電流 ≤ 3.3 kV/≤ 500 A
暴露于真空中的材料 SS,Al2O3,FPM75,Mo,Ni,Au,W
內部體積 ≈ 20 cm3
重量 DN 25 ISO-KF ≈ 700 g,DN 40 CF ≈ 980 g
標準 EN 61000-6-2,EN 61000-6-3,EN 61010-1

外形圖

FRG-700 系列皮拉尼反磁控規外形圖