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微調放氣閥

安捷倫微調放氣閥包括可移動的活塞,其光學級平滑的藍寶石端面可與金屬密封墊可靠密封。這樣可以形成完全無摩擦、咬合和偏斜的密封。藍寶石的位移通過機械增益為 13000 比 1 的螺紋軸桿機構控制。

  • 用于特種閥門應用

  • 范圍從大氣壓到低于 10-11 torr (mbar)

  • 具有手動和氣動型號

  • 在靈敏度 1 x 10-10 std cc/s 的氦質譜檢漏儀上檢測不到泄漏

  • 最大流導 6 l/m

  • 可烘烤至 450° C