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亚博代理 安捷倫(Agilent)產品庫 真空組件 54 系列全金屬 UHV 閥門
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54 系列全金屬 UHV 閥門

安捷倫科技很高興為您提供與 VAT 合作生產的 54 系列全金屬超高真空閥門。這些閥門專為超高真空系統設計,烘烤溫度可高達 300 ºC,并且不使用彈性體及低熔融溫度金屬。閥門可使用標準的六角扳手進行手動操作,不必使用扭矩扳手。由于采用金屬密封,這些閥門可以在維護之前,開關上千次。54 系列閥門幾乎無需維護,可靠性高,可滿足從大氣壓到低于 10 - 11 torr (mbar) 的真空密封。

  • 專為超高真空 (UHV) 設計的全金屬閥門

  • 壓力范圍從極高真空 (XHV) 到高達 2 bar

  • 在打開和關閉位置可烘烤溫度達 300 ℃

  • 獨特的 VATRING 密封能提供“金屬”接觸式密封,維護前可開關 1000 多次。

  • 可以以任意角度安裝

  • 可視的位置指示

漏率:閥體,閥座 < 1 x 10-10 mbar Is-1
壓力范圍 從極高真空 (XHV) 到 2 bar (abs)
插板處的壓力差 ≤ 2 bar
開啟時壓差 ≤ 1 bar 1
壽命 ≥ 1000 次
烘烤溫度 2 ≤ 300 °C(開啟和關閉時)
加熱和冷卻速度 = 60 °C h-1
材料:閥體,機械裝置,波紋管 AISI 316L (1.4404, 1.4435)
密封:閥蓋,插板 金屬
穿導件 波紋管
安裝方向 任意
閥位指示 可視(機械)
流導(分子流) NW 16:5 Ls-1/NW 40:50 Ls-1
閉合力 處于機械停止狀態時關閉
重量:kg(磅) NW 16: 0.4 (0.9)NW 40:1.9 (4.2)
1) 隨著循環次數減少 >1 bar2) 最大值:取決于工作條件和密封材料